工件尺寸直径 6 英寸 ×650 毫米
针对大批量 6 英寸晶圆生产优化设计
24是Lapmaster研磨机系列里体积较小的落地式研磨机。是对平面度和光洁度有非常高要求的工厂的理想选择。该设备标准配置用于使用松散研磨剂。根据客户要求,也可增选配置用于水和金刚石乳液。研磨盘及工件平面度可通过调整修整环在研磨盘上的位置进行修整。研磨盘驱动系统采用独立电机及涡轮涡杆减速机和皮带传动。该设备可加工各种材料包括半导体、光学镜片、陶瓷、金属及许多其他特殊产品。该落地式设备可选用气动选配
SS-56H研磨机配备直径56英寸(1422mm)研磨盘。HT300灰铸铁材质,符合ISO185(2005)认证。研磨盘为多个贴片用螺钉固定到支撑盘上。
“Macro”系列采用创新的(MWH)设计理念。所有定位及精磨时的线性动作均由精磨头实现。与传统的立柱移动和工作台移动不同,本机各轴采用紧凑结构,可实现受力分布及较小的受热变化,这些特性使得设备实现长期、理想的加工控制。
为了实现在一个工序中完成双面去毛刺加工,LAPMASTER WOLTERS开发了一种新的设备,为Microline® AC 700提供了一个专利解决方案。转换成为可以进行去毛刺加工的双面精密磨床非常容易,只需将精密砂轮换成刷轮,并且停用中心测量控制。这意味着精密磨床基本上适用于去毛刺,同时也可以用作一台组合机器。专利解决方案,新开发的设备可在同一步骤中完成双面去毛刺。
DDG580为LAPMASTER WOLTERS的一款高精密高性能通过式磨床,可满足各类工件上下表面同时磨削的需求,即使在极其恶劣的工作条件下始终能够保持从第一个工件到结尾一个工件的连续精密度。对于不同的工件的加工,设备可采用多种不同的加工工艺。
工件尺寸直径 6 英寸 ×650 毫米针对大批量 6 英寸晶圆生产优化设计
多主轴回转头架极限可在同一转塔上配置4个不同类型主轴,适应高同轴度,高圆柱度要求,转塔驱动适应鼠牙齿结构或力矩电机结构,适应不同锥度分秒
24寸气动加载式研磨机是基于24寸普通型研磨机制造而成。压力码通过调心轴承与气缸连杆相连。气缸安装在研磨盘上方由两根立柱支撑的横梁上。气动的主要作用是上下料时不必手动搬运压力法码。也可根据客户要求,对工件施加额外的压力。该设备标准配置用于使用松散研磨剂。根据客户要求,也可增选配置用于水和金刚石乳液。
DSG720双面精磨机运行系统依据3-way行星原理设计,经济性高,加工精确稳定。加工材料及工件范围广泛,包括玻璃、陶瓷、水晶和金属等。DSG720双面精磨机广泛应用于工件的平面加工,可为工件严苛的精度和公差要求提供良好的解决方案。平面度:<1μm*工件一致性公差:<4μm*平行度:<3μm*表面光洁度:<0.25μm*切削率:0.6mm*